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TOF-SIMS質(zhì)譜儀

TOF-SIMS（Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry）是通過用一次離子激發(fā)樣品表面，打出極其微量的二次離子，根據(jù)二次離子因不同的質(zhì)量而飛行到探測器的時間不同來測定離子質(zhì)量的極高分辨率的測量技術(shù)。TOF（Time of Flight）的獨特之處在于其離子飛行時間只依賴于他們的質(zhì)量。由于其一次脈沖就可得到一個全譜，離子利用率最高，能最好地實現(xiàn)對樣品幾乎無損的靜態(tài)分析，而其更重要的特點是只要降低脈沖的重復(fù)頻率就可擴展質(zhì)量范圍，從原理上不受限制。