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AES俄歇電子能譜儀

俄歇電子能譜儀（Auger Electron Spectrometer, AES）為微電子業(yè)常見的表面分析技術(shù)之一，納米探針俄歇掃描 提供高性能的俄歇（AES）頻譜分析、俄歇成像和濺射深度分析的復(fù)合。俄歇納米探針提供了實(shí)用和成熟的技術(shù)，以滿足納米尺度所需要的廣泛實(shí)驗(yàn)與研發(fā)的用途。應(yīng)用材料包括：納米材料，催化劑，金屬和電子設(shè)備。