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PHI X-tool 全自動掃描型微區(qū)探針

PHI X-tool是一款操作簡單,同時具備高效高能的XPS。其秉承PHI-XPS獨(dú)有的掃描聚焦X-ray系統(tǒng),可通過單色化石英晶體叫X-ray直接聚焦至20μm。和傳統(tǒng)的XPS相比,不采用光闌進(jìn)行選區(qū),極大的提高了XPS在200μm以下空間尺度的靈敏度。同時,不需要增加磁透鏡,即可得到卓越的靈敏度及優(yōu)秀的信噪比,即使磁性樣品,也可輕松應(yīng)對。

卓越的操作性

  • PHI X-tool軟件支持直觀的觸摸屏操作,所有XPS測定過程都可在觸摸屏上完成。用戶可以自由選擇手動操作模式和自動操作模式(自動定性、定量、分析及完成報告),操作者無論是否具有豐富的XPS操作經(jīng)驗,均能輕松應(yīng)對。

自動參數(shù)設(shè)定、自動完成報告

  • PHI X-tool具備自動對焦功能(Auto-Z),使分析位置處于X射線的焦平面上,得到zui優(yōu)的分析條件。其可實現(xiàn)中和參數(shù)的自動匹配,無論樣品的導(dǎo)電性如何,均可輕松應(yīng)對。
  • 自動定性:實現(xiàn)譜峰自動識別
  • 自動定量:自動選定譜峰定量范圍
  • 自動曲線擬合:可自動實現(xiàn)預(yù)定條件的曲線擬合
  • 自動生成實驗報告

多方式樣品觀察

  • 在XPS分析中,樣品觀察,特別是微區(qū)定位至關(guān)重要。PHI X-tool可通過以下三種方式進(jìn)行樣品觀察:a. 進(jìn)樣室高空間分辨率圖像;b. 實時CCD成像;c. 二次電子像(SXI)。利用這幾種方法觀察樣品,不論樣品大小,表面形貌如何均可輕松確定測試位置。

詳細(xì)的條件設(shè)定和直觀的操作

  • 結(jié)合材料和目的,可詳細(xì)設(shè)定分析的條件。通過內(nèi)置元素周期表,可設(shè)定各光電子峰和俄歇峰。通過更改通過能、步長、積分時間設(shè)定窄譜掃描參數(shù)。對每個樣品可設(shè)置習(xí)慣的文件名和樣品名稱。

快速化學(xué)成像

  • 采用掃描X射線和高靈敏度檢測器及非掃描模式,可實現(xiàn)快速成像分析。每個點(diǎn)都可以直接調(diào)取全部的譜數(shù)據(jù)?;瘜W(xué)態(tài)成像的空間分辨率、靈敏度、能量分辨率與儀器主指標(biāo)一致。

采用PHI獨(dú)有的先進(jìn)硬件設(shè)計

  • 微聚焦掃描X-ray源;
  • 雙束中和系統(tǒng),低能離子束及低能電子束自動配合;
  • 浮動離子槍,離子加速電壓條件范圍可達(dá)0~5kV
  • Micro-Electronics 微電子, 電子封裝
  • Polymer 高份子材料
  • Tribology 摩擦學(xué)
  • Magnetic 磁性材料, 硬盤, 藍(lán)光光盤
  • Display Industries 顯示工業(yè)
  • Graphene 石墨稀
  • Catalysis 催化劑
  • Energy related 能源產(chǎn)業(yè)
  • Glass 玻璃
  • Metal 金屬
  • Ceramic 陶瓷
  • Semi-conductors 半導(dǎo)體
  • Bio-Medical 生醫(yī)科學(xué)

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